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MEMS加速度計是如何工作的?

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MEMS加速度計是如何工作的?

發布時間:2018-06-21 10:01:54   作者: 南京凱基特電氣有限公司   瀏覽次數:

技術成熟的MEMS加速度計分為三種:壓電式、容感式、熱感式。壓電式MEMS加速度計運用的是壓電效應,在其內部有一個剛體支撐的質量塊,有運動的情況下質量塊會產生壓力,剛體產生應變,把加速度轉變成電信號輸出。

容感式MEMS加速度計內部也存在一個質量塊,從單個單元來看,它是標準的平板電容器。加速度的變化帶動活動質量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積,通過測量電容變化量來計算加速度。

熱感式MEMS加速度計內部沒有任何質量塊,它的中央有一個加熱體,周邊是溫度傳感器,里面是密閉的氣腔,工作時在加熱體的作用下,氣體在內部形成一個熱氣團,熱氣團的比重和周圍的冷氣是有差異的,通過慣性熱氣團的移動形成的熱場變化讓感應器感應到加速度值。

由于壓電式MEMS加速度計內部有剛體支撐的存在,通常情況下,壓電式MEMS加速度計只能感應到“動態”加速度,而不能感應到“靜態”加速度,也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應“動態”加速度,又能感應“靜態”加速度。